Вернуться к: Откачные посты

Универсальный вакуумный пост ВУП-5

Универсальный пост ВУП-5 предназначен для электронно-лучевого и термического напыления тонкослойных многокомпонентных покрытий различных материалов и для синтеза сложный оксидных фаз.
Технические характеристики
• Остаточное давление в рабочем объёме - 1
_________________4a0b0f6dd8490.jpg_________________4a0b0f6dd8490.jpg
Описание Универсальный пост ВУП-5 предназначен для электронно-лучевого и термического напыления тонкослойных многокомпонентных покрытий различных материалов и для синтеза сложный оксидных фаз.

Технические характеристики

• Остаточное давление в рабочем объёме - 1.3*10-4 Па.

• Ток накала испарителя – 200 А

• Температура подложки от 400 до 1100 °С.

• Ток тлеющего разряда - 47±2 мА