Течеискатель ТИ1-15

Описание

Течеискатель ТИ1-15

Гелиевый течеискатель ТИ1-15 – универсальный прибор, рассчитанный на все способы контроля герметичности с применением гелия в качестве пробного газа. С его помощью с предельно высокой чувствительностью могут быть испытаны электровакуумные, полупроводниковые и другие малогабаритные приборы, их узлы и детали, а также вакуумные системы и изделия, допускающие откачку внутренней полости или содержащие в своем заполнении гелий.

Течеискатель ТИ1-15 выполнен в виде двух блоков, вакуумного и электронного, при максимальной унификации с течеискателем ТИ1-14. В левой части прибора практически без его изменений размещен течеискатель ТИ1-14. Правая часть содержит дополнительные элементы. Для удобного перемещения прибора вся конструкция размещена на тележке.

Вакуумная система течеискатель ТИ1-15 помимо элементов системы СВ-14 течеискателя ТИ1-14 содержит цеолитовый насос с системой электромагнитных клапанов и испытательный колпак. Система клапанов по заданной программе обеспечивает форвакуумную откачку контролируемого изделия, напуск атмосферного воздуха в изделие после контроля, быстрое соединение изделия с анализатором, а также защиту высоковакуумного объема течеискателя при прорыве атмосферного воздуха со стороны изделия.

Электрическая схема помимо элементов течеискателя ТИ1-14 содержит систему динамической компенсации фонового сигнала, систему управления клапанами и источник питания для прогрева цеолитового насоса.

В течеискателе ТИ1-15 предусмотрено два режима контроля герметичности:

1-й режим – предварительные испытания с откачкой паромасляным насосом;

2-й режим – сверхвысокочувствительные испытания, при которых контролируемое изделие отключается от паромасляного насоса и откачивается цеолитовым насосом.

Действие цеолитового насоса основано на способности цеолита марки СаА при пренебрежимо малой быстроте откачки по гелию эффективно откачивать все другие продукты натекания и газовыделения. В результате при сверхвысокочувствительном контроле при стабильном общем давлении наблюдается линейное нарастание фонового сигнала гелия и изменение скорости этого нарастания при дополнительном поступлении гелия через течи. Таким образом, изменение скорости натекания сигнала служит мерой величины течи.

Вследствие ограниченной сорбционной емкости цеолитового насоса в режиме сверхвысокочувствительных испытаний могут контролировать изделие с суммарным газовыделением и натеканием не более 10-5 Па·м3/с .

В режиме сверхвысокочувствительных испытаний система динамической компенсации обеспечивает компенсацию линейно нарастающего фонового сигнала путем подачи в обратную связь УПТ напряжения, линейно меняющегося во времени с той же скоростью, что и компенсируемый сигнал, но в обратной полярности.

В режиме предварительных испытаний компенсация установившегося сигнала осуществляется подачей в обратную связь УПТ постоянного регулируемого напряжения.

Для контроля герметичности газонаполненных изделий течеискатель ТИ1-15 укомплектован щупом.

Для определения чувствительности и оценки величин регистрируемых течей в течеискателе ТИ1-15 вмонтирована гелиевая калиброванная течь.

Технические характеристики:

Минимальный регистрируемый поток гелия при предварительных испытаниях , Па´м³/с	1×10^–1
Минимальный регистрируемый поток гелия при высокочувствительных испытаниях, Па´м³/с	7×10^–14
Время подготовки к работе, ч	2
Расход жидкого азота в установившемся режиме, л/ч	0,1
Электропитание	трехфазная сеть
Напряжение, В	220/380
Частота, Гц	50
Потребляемая мощность, кВт	1
Габаритные размеры: - системы вакуумной, мм - устройства регистрирующего, мм	608×665×547 270×325×338
Мааса: - системы вакуумной, кг - устройства регистрирующего, кг	93 20