Установка резистивного напыления УРН-1

Установка резистивного напыления УРН-1

Предназначена для нанесения покрытий резистивным способом.

В состав установки входят:

- вакуумная камера с рамой и механизмом подьёма

- 2 резистивных ускорителя

- карусель для крепления напыляемых образцов

- новый блок управления вакуумной системой (БУВС)

- вакуумная система на базе НВР-16Д, диффузионного насос НВДМ-250

- система вакуумметрии - Мерадат+ВМБ14/Мерадат+ВИТ-2 (Заказчик выбирает тип используемых им датчиков)

- заслонки

- ионный источник с блоком питания (БП-140)  - опция (+500 000 к цене установки)

- система газонапуска на базе РРГ-10 - опция (+170 000 к цене установки)