Установка нанесения алмазоподобных покрытий BRV 700-DLC

Установка нанесения алмазоподобных покрытий BRV 700-DLC
В наличии
цена - 10 000 000 рублей, торг

Описание

Семейство вакуумных установок BRV 700-DLC для нанесения ал-

мазо-подобных покрытий на оптические элементы из германия и

кремния (базовая модель, максимальная комплектация).

Вакуумная установка типа BRV 700-DLC является базовой моделью. На ос-

нове BRV 700-DLC реализуются практически любые технические направления,

которые могут быть решены контролируемым получением алмазо-подобных по-

крытий импульсно-дуговым методом с ионной очисткой.

Показатели назначения.

Неравномерность нанесения покрытий по куполу не более ±1,5%. Неравно-

мерность нанесения покрытий при применении планетарной системы по куполу

не более ±1%. Предусмотрена система установки подвижных и неподвижных ма-

сок (поз. 32).

- Вместимость куполообразного подложкодержателя, деталей диаметром 40

мм, шт.: не менее 90

- Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до

150 мм, шт.: не менее 6

- Вместимость планетарных подложкодержателей, деталей диаметром до

320 мм, шт.: не менее 3

- Вместимость столика для деталей диаметром до 500 мм, шт.: одна.

- Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуре, кг, не бо-

лее: 200

- Средний уровень шума, дБа, не более: 75

- Установленный срок службы до капитального ремонта при двухсменной

работе при соблюдении правил эксплуатации, лет, не менее: 8

- Мощность, потребляемая вакуумной установкой, кВт, не более: 30

- Общая площадь, занимаемая вакуумной установкой без учета форвакуум-

ного агрегата и зоны технологического обслуживания, м2, не более: 6

- Габариты вакуумной установки, мм, Д×Ш×В, не более: 2000×1500×2000.

- Масса вакуумной установки без учета форвакуумного агрегата и чиллера,

кг, не более: 1320

- скорость нанесения, мкм/ч – не менее 0,5.

- коэффициент пропускания на длине волны 10 мкм для одностороннего по-

крытия на германии, % не менее 61