Установка магнетронного напыления МЭШ-31.5Э
Установка МЭШ-31.5Э предназначена для нанесения на керамические, поликоровые, ситаловые, кремнивые подложки резистивных материалов типа РС, нитрида тантала, алюминия, меди методом магнетронного распыления.
_________________5029f363d71bd.jpg
Описание
Установка МЭШ-31.5Э/ЭС*
Установка обеспечивает ионную очистку изделий перед напылением, нанесение покрытий с трех магнетронных распылителей (6 кВт каждый), нагрев изделий до заданной температуры с возможностью последующего контроля, автоматическую регулировку подачи рабочих газов в вакуумную камеру, автоматический цикл откачки вакуумной камеры до рабочего уровня, размещение подложек на карусели с двойным вращением и возможностью регулирования скорости вращения
Базовой комплектацией Установки являются изделия фирм Omron, Pfeiffer, Camozzi и др. Установка полностью подготовлена для оснащения компьютером с контроллером ADAM5000.
* - вариант с безмасляной откачкой (форвакуумный безмасляный насос Anest Iwata и криогенный насос CTI)
Основные технические характеристики
Время достижения рабочего давления 5*10-3Па 30 минут
Длительность технологического цикла 60 минут
Размер носителей для обрабатываемых изделий, мм 600 х 150
Количество носителей на карусели, шт 12
Управление циклом откачки Полуавтоматическое
Управление технологическим процессом Полуавтоматическое
Управление циклом откачки Ручное с авт.отключением
Технологические устройства:
Ионный источник (3 кВт) 1 шт.
Магнетроны (6-12 кВт) 3 шт.
Электрическое смещение на карусель (300 В, 10 А) 1 шт.
Регуляторы расхода газа (автоматические/ручные) 3 шт.
Регулятор давления автоматический
Регулятор скорости вращения карусели автоматический
Питание 3 х 380 В / 50 Гц
Потребляемая мощность 45 кВт
Расход воды, м3/ч (Холодная/Горячая) 0.3 / 0.1
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) 2500 х 4000 х 2300
* - конструкция карусели определяется требованиями Заказчика.
Установка обеспечивает ионную очистку изделий перед напылением, нанесение покрытий с трех магнетронных распылителей (6 кВт каждый), нагрев изделий до заданной температуры с возможностью последующего контроля, автоматическую регулировку подачи рабочих газов в вакуумную камеру, автоматический цикл откачки вакуумной камеры до рабочего уровня, размещение подложек на карусели с двойным вращением и возможностью регулирования скорости вращения
Базовой комплектацией Установки являются изделия фирм Omron, Pfeiffer, Camozzi и др. Установка полностью подготовлена для оснащения компьютером с контроллером ADAM5000.
* - вариант с безмасляной откачкой (форвакуумный безмасляный насос Anest Iwata и криогенный насос CTI)
Основные технические характеристики
Время достижения рабочего давления 5*10-3Па 30 минут
Длительность технологического цикла 60 минут
Размер носителей для обрабатываемых изделий, мм 600 х 150
Количество носителей на карусели, шт 12
Управление циклом откачки Полуавтоматическое
Управление технологическим процессом Полуавтоматическое
Управление циклом откачки Ручное с авт.отключением
Технологические устройства:
Ионный источник (3 кВт) 1 шт.
Магнетроны (6-12 кВт) 3 шт.
Электрическое смещение на карусель (300 В, 10 А) 1 шт.
Регуляторы расхода газа (автоматические/ручные) 3 шт.
Регулятор давления автоматический
Регулятор скорости вращения карусели автоматический
Питание 3 х 380 В / 50 Гц
Потребляемая мощность 45 кВт
Расход воды, м3/ч (Холодная/Горячая) 0.3 / 0.1
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) 2500 х 4000 х 2300
* - конструкция карусели определяется требованиями Заказчика.