Установка магнетронного напыления МЭШ-60

Описание состоит из рабочей камеры с передней дверью, рамы, откачной системы и стойки питания и управления. В рабочей камере расположена карусель с нижним приводом с вертикальной осью вращения. Изделия закрепляются на легкосъемных носителях. Снаружи камеры на унифицированных фланцах закреплены 4 высокоскоростных магнетронных распылителя (ВСМР), ионный источник, нагреватель. В качестве опции могут использоваться дуговые испарители.

На установке МЭШ-60 можно наносить качественно новые покрытия за счет объединения в едином вакуумном цикле целого ряда технологических процессов, включающих ионную очистку и активацию поверхности изделий, магнетронное высокоскоростное нанесение различных материалов с ассистированием, нанесение многослойных и нанопокрытий.

Базовой комплектацией Установки являются изделия фирм Omron (Япония) и Camozzi (Италия). Все основные системы установки оснащены контроллерами, позволяющими при подключении компьютера произвести автоматизацию процесса.

Основные технические характеристики
*Размер носителей для обрабатываемых изделий, мм	90 х 400
*Количество носителей на карусели, шт	20
Длительность откачки/технологического цикла, мин	20 / от 30
Управление циклом откачки	Полуавтоматическое
Электропитание	3 х 380 В / 50 Гц
Расход воды (давление 4-6атм.), м3/ч (Холодная/Горячая)	1 / 0.2
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм	2250 х 3800 х 2150