Установка вакуумного магнетронного напыления МЭШ-70

Установка вакуумного напыления МЭШ-70

Установка вакуумного напыления МЭШ-70 состоит из рабочей камеры с передней дверью, рамы, откачной и газовой системы и шкафов управления и питания. В рабочей камере расположена карусель с вертикальной осью вращения и нижним приводом. Изделия закрепляются на легкосъемных носителях. Снаружи камеры и двери расположены 6 (шесть) унифицированных фланцев, на которых смонтированы 4 (четыре) магнетрона и 2 (два) пленарных дуговых испарителя. Нагреватель расположенный в центре камеры через верхний ввод нагревает изделия до 400 градусов С. По желанию заказчика может оснащаться ионным источником с блоком питания до 6 кВт. (опция). На установке МЭШ-70 можно наносить многослойные наноструктуированные покрытия с высокой плотностью и заданного состава. Все основные системы управления оснащены контроллерами, что позволяет проводить автоматизацию процессов напыления.
Компьютерная система управления устраняет возможность неправильных действий оператора и отображает текущее состояние всех систем.

Основные технические характеристики:

Габариты внутр.пространства камеры, мм..............1000x1000
Длительность цикла откачки, мин.........................30
Управление процессом ........................................ автоматическое
Электропитание 3x3806/50 Гц ............................85 кВт
Максимальный вес изделия, кг ............................200